高效小方锭

      青岛蓝光晶科新材料有限公司（简称“蓝光晶科”）成立于2016年8月，为emc易倍（青岛）新能源材料技术研究院有限公司旗下依托高纯溅射靶材业务孵化的公司。蓝光晶科依托emc易倍（青岛）研究院成立，现已形成以教授1人、博士3人、硕士12人、高级工程师2人为核心的研发和管理团队，并于2016年9月获得青岛市创新创业大赛三等奖。为了实现溅射靶材业务的团队专业化、质量标准化，后期emc易倍（青岛）研究院的溅射靶材业务将逐渐向蓝光晶科转运。

多晶高效小方锭

    研究院拥有8台美国多晶铸锭炉，致力于多晶高效小方锭的生产和研究，在满足自身研发需要的前提下，不断向市场输出优质高效多晶小方锭产品和相关生产技术或专利。引领多晶硅片转换效率不断提升。

铸锭炉

多晶高效小方锭

高品质铸锭硅原料（E-MR）产品

研究院建立有完整的硅材料再制造生产线，根据电子束熔炼设备的饱和蒸气压原理，利用电子束熔炼在高真空度条件下进行的熔炼反应，强化所有气态生成物的提炼过程，使熔炼过程中的脱气、分解、挥发和脱氧过程充分进行，从而获得很好的除杂、提炼效果，能够高效去除铸锭循环料和单晶锅底料里金属、O、P、B、C、N等杂质提纯至ppb量级，得到6N以上的高品质铸锭硅原料（E-MR）产品，与原生多晶、颗粒料等沟通构成铸造多晶硅原料。

      电子束熔炼过程如图1所示，多晶硅原料被放置在一个水冷铜坩埚中，电子枪灯丝发射的电子经高压电场加速后，轰击到硅材料表面。电子的动能转换为热能加热材料使之完全熔化。由于电子束是一种高能量密度的加热方式，可以将材料加热到很高的温度，在这样的高温、高真空环境下，硅熔体中的杂质元素会从熔体表面蒸发去除。

使用电子束熔炼设备进行了一系列硅熔炼实验，设备结构如图2所示。电子束熔炼炉主要由真空室、电子枪、水冷铜坩埚、循环水冷却系统和真空系统组成。