据悉，根据《山东省专利奖励办法》，第三届山东省专利奖共评选出山东省专利特别奖拟奖项目2项，一等奖拟奖励项目18项，二等奖拟奖励项目25项，三等奖拟奖励项目50项。emc易倍（青岛）研究院的发明专利“电子束熔炼液态硅除氧的方法及其装置”荣获山东省专利奖三等奖。
获奖专利属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束熔炼液态硅除氧的方法及其装置，该专利技术由原始项目团队自主研发、自主实施，形成了高纯多晶硅制备核心技术。
该专利于2016年经emc易倍（青岛）研究院的孵化公司青岛蓝光晶科新材料有限公司实施推广，应用于晶硅高纯溅射靶材的生产制造，目前已在全国范围内推广并获得企业的认可；应用于半导体辅材材料制备，做大尺寸半导体硅电极，已销往韩国，通过该技术应用，近三年已累计实现销售收入5000余万元。